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并与炉内生成的 一氧化硅及杂质粉尘混合，由于单晶炉内的加热器和坩埚支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蚀所述石墨制成的器件且杂质粉尘易吸附在这些器 件上，从而影响了单晶炉的使用寿命。因此，在向单晶炉内不断充入氩气 的同时，还必须用真空泵将混合气体排出炉外，在排气时，混合气体流经 炉中的加热器，坩埚支持器等处，后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大。

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关电源可分为AC/DC和DC/DC两大类，DC/DC变换器现已实现模块化，且设计技术及生产工艺在均已成熟和标准化，并已得到用户的认可，但AC/DC的模块化，因其自身的特性使得在模块化的进程中，遇到较为复杂的技术和工艺问题。另外，关电源的发展与应用在节约能源，节约资源及保护环境方面都具有重要的意义。主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的能，可以大致分为加热系统，传热及支撑系统，导流系统，保温系统等。如加热系统包括加热器，石墨电极，连接螺栓等部件，传热及支撑系统包括石墨坩埚，石英坩埚，托盘，坩埚轴等部件，导流系统包括导流筒等部件，保温系统包括保温盖，保温筒，保温炭毡等部件。热场温度区域的分布，直接影响了拉晶生产是否能顺利进行。并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料以及晶棒的拉速和品质。而石墨加热器作为加热系统的核心部件2加热器的工作原理与使用要求。